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萊寶羅茨真空泵
萊寶羅茨真空泵-WAU/WSU/WH
優(yōu)勢速覽:
萊寶羅茨真空泵-可靠、安全、耐用
久經(jīng)考驗(yàn)的成熟技術(shù)
萊寶羅茨泵
RUVAC系列,已經(jīng)有數(shù)十年的歷史,這種干式壓縮的技術(shù),已經(jīng)被證明勝任多種真空應(yīng)用。
羅茨泵與油式或者干式前級泵串聯(lián)使用后,可以顯著地增加系統(tǒng)的抽速并提高系統(tǒng)可以產(chǎn)生的真空度,借此來拓展前級泵的工作范圍。萊寶的羅茨泵有3個(gè)系列:采用風(fēng)冷法蘭電機(jī)的WA系列;采用罐式風(fēng)冷電機(jī)的WS系列;采用全密封水冷電機(jī)的WH系列。每一個(gè)系列包含不同的抽速可供不同的應(yīng)用來使用。這個(gè)三個(gè)系列的羅茨泵,都可以選擇有或沒有旁通閥的版本,旁通閥也被稱為壓力平衡閥。
■ RUVAC羅茨泵可以用于水平流或者垂直流的安裝方式,由此可以提高系統(tǒng)的靈活性,安裝位置可以在安裝時(shí)更改。
■ RUVAC羅茨泵的軸承及其耐用,與之相連的是羅茨泵高效的潤滑系統(tǒng),保證羅茨泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的靜音和穩(wěn)定性。
■ WS和WSU系列羅茨泵的電機(jī),轉(zhuǎn)子是由罐密封在真空中與定子隔開的。
因?yàn)闆]有驅(qū)動軸由外至內(nèi)連接進(jìn)來,所以轉(zhuǎn)子可以以一個(gè)很理想的方式密封在真空中。
得益于高效的潤滑系統(tǒng),WS系列羅茨泵的轉(zhuǎn)速可以高達(dá)6000RPM
這就意味著,同樣尺寸的真空泵,WA(U)系列可以實(shí)現(xiàn)更高的抽速,同時(shí)滿足IE3等級的能效要求。
技術(shù)參數(shù):
萊寶羅茨真空泵-萊寶真空您的應(yīng)用提供可靠的技術(shù)
智能化系列
久經(jīng)考驗(yàn)的RUVAC系列羅茨泵,幾乎用到了所有真空應(yīng)用中,我們可以提供與TRIVAC系列或者SOGEVAC系列搭配使用的標(biāo)準(zhǔn)羅茨泵系統(tǒng),同時(shí)我們也可以提供與DRYVAC和SCREWLINE等干式前級泵搭配起來使用的標(biāo)準(zhǔn)干式系統(tǒng)。
萊寶把羅茨技術(shù)用于真空應(yīng)用中,如今RUVAC羅茨泵可以滿足所有嚴(yán)苛的真空應(yīng)用中的工藝需求。
RUVAC羅茨泵常被用來當(dāng)做“增壓泵”來使用,借此來幫助較小的前級泵來抽空較大的腔室,或者把腔室中抽到一個(gè)更佳的真空度。
典型的應(yīng)用由熱處理,工業(yè)爐,冶金和大幅面的鍍膜。
RUVAC羅茨泵已經(jīng)成為建筑玻璃鍍膜行業(yè)的標(biāo)配。與SOGEVAC聯(lián)用組成油式系統(tǒng),用于進(jìn)樣室的抽空;也可以與DRYVAC或SCREWLINE組成純干式真空系統(tǒng),用于工藝室的應(yīng)用。
RUVAC羅茨泵常用來把抽空時(shí)間縮到較短,例如鍍膜應(yīng)用的進(jìn)樣室或者快節(jié)拍的食品包裝應(yīng)用
羅茨泵用于照明應(yīng)用中,可以在較短的時(shí)間內(nèi)把壓強(qiáng)抽至10-3mbar以下
RUVAC羅茨泵也常用于太陽能電池片或半導(dǎo)體應(yīng)用中的單晶硅拉晶工藝。我們很高興為您來提供產(chǎn)品和應(yīng)用技術(shù)上的支持。
我們的真空專家可以根據(jù)您在真空中的需求,提供準(zhǔn)確、全面和快速的響應(yīng)和支持。
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萊寶羅茨真空泵工作原理
羅茨真空泵
的泵殼內(nèi)有兩個(gè)對稱布置的葉輪以相反方向旋轉(zhuǎn)。8"字轉(zhuǎn)子用齒輪同步,確保葉輪相互逆向旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)時(shí)葉輪相互間隔很近離機(jī)殼也很近,但又實(shí)際上相互不接觸在轉(zhuǎn)子位和位(見“單級羅茨真空泵(垂直流運(yùn)行圖",吸入容量增加。轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到Ⅲ位時(shí),一部分容量與進(jìn)氣口的相通被切斷。至Ⅳ位時(shí),該容量空間與排氣口相通,處于前級真空壓強(qiáng)下的氣體(比吸入壓強(qiáng)高)流入。此流入氣體對進(jìn)氣口抽過來的氣體產(chǎn)生壓縮,隨著轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動,壓縮氣體通過排氣法蘭排出。每個(gè)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)完一滿圈,上述動作重復(fù)兩次由于轉(zhuǎn)子與泵殼不接觸,羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可以達(dá)到很高的速度。相對較小的泵也能達(dá)到很高的抽速。
羅茨真空泵是一款技術(shù)成熟的真空獲得設(shè)備,廣泛應(yīng)用于各類真空應(yīng)用。與前級泵配合組成羅茨機(jī)組,具有下列優(yōu)點(diǎn):
設(shè)計(jì)
羅茨真空泵的泵腔沒有任何密封劑或潤滑劑。RUAC泵的齒輪和軸承設(shè)在兩個(gè)齒輪腔內(nèi),齒輪腔內(nèi)有潤滑油油池,通過活塞環(huán)密封將這兩個(gè)齒輪腔與泵腔隔離。
這兩個(gè)齒輪腔內(nèi)的供油系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理,在所有允許轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)都能保證齒輪和軸承得到充分潤滑。
幾乎所有 RUVAC羅茨真空泵都能水平流或垂直流工作。
降低極限壓強(qiáng)
按一般經(jīng)驗(yàn),配置羅茨真空泵后系統(tǒng)極限壓強(qiáng)降低至原來的1/10。兩級羅茨和相應(yīng)前級泵組合其極限壓強(qiáng)可達(dá)到10
-5
mbar(0.75x10
-5
Torr)量級,某些情況下無需再另配高真空泵(渦輪分子泵,或擴(kuò)散泵)。
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